Poškodenie statickej elektriny v čistej miestnosti
Polovodiče, ploché panelové displeje, optoelektronika a iné čisté priestory, napriek mnohým prácam, elektrostatické problémy v čistej miestnosti stále ovplyvňujú bezpečnosť výroby a výnos produktu, ovplyvňujú výrobné náklady a výhody, ovplyvňujú kvalitu a spoľahlivosť produktu.
1. Elektrostatická Coulombova sila
Pri pôsobení elektrostatickej sily Coulomb, adsorbovaný prach a nečistoty spôsobujú únik komponentov alebo vytvárajú skrat, čo zhoršuje výkon a výrazne znižuje výťažok a spoľahlivosť. Ak je veľkosť častíc prachu> 100 μm, šírka hliníkového drôtu je asi 100 μm a hrúbka oxidového filmu je 50 μm, produkt je s najväčšou pravdepodobnosťou zošrotovaný. Teraz je priemer drôtu jemnejší, oxidový film je veľmi tenký a prachové častice s malou veľkosťou častíc poškodia komponenty. To sa deje väčšinou v procesoch korózneho čistenia, fotolitografie, bodového zvárania a balenia.
2, elektrostatický výboj ESD
(1) Izolačný oxidový film súčiastky sa zlomí a olovo sa vyfúkne alebo sa potrubie vyfúkne. Ak ľudské telo nesie 10KV (100PF) statického náboja, ESD sa objaví, keď sa zariadenie dotkne a pulzné výbojové prúdové špičky do 20A (10 ~ 100s) sa môžu vytvoriť okamžite na zem, nehovoriac o vysokej hustote, jemne priemer drôtu, tenký film SiO2. Lsi, Vlsi, je všeobecná IC, MOS utrpí škodu.
Všeobecne povedané, intenzita poľa výdržného napätia izolačnej brány SiO2 filmu je E = (5-10) × 106V / cm. Ak je hrúbka filmu zariadenia SiO2 1000, pri použití vstupného kolíka zariadenia sa zasiahne statické napätie 50V-100V alebo viac. Nosenie a telo so statickou elektrinou viac ako 50V, 100V je veľmi bežné.
(2) spôsobenie hluku a vyžarovanie elektromagnetického rušenia
ESD spôsobuje, že EMI má ostrý vrchol pred a po elektromagnetickej vlne a signál je silný, čo je ekvivalentné niekoľkým objemom energie v okruhu. Frekvencia pokrýva niekoľko MH2 alebo stovky MH2 so silným šumom, čo môže spôsobiť poškodenie súčiastok, zariadenie a senzory nepracujú správne, alebo dokonca spôsobujú poruchu zariadenia.
EMI spôsobený ESD tiež spôsobuje vstup chybového signálu alebo fenoménu blokovania. V čistej miestnosti je EMIF skrinka oblátky umiestnená na oceľovom vozíku a ESD oblátky sa prenáša na vozík cez induktor. Koleso je izolované a difúzia EMI spôsobuje, že stroj na oplácanie narazí.
(3) Elektrický šok ľudského tela
Keď ESD ľudského tela alebo ESD ľudského tela prekročí hraničný prúd elektrického šoku ľudského tela 5 mA alebo viac, ľudia budú mať rôzne pocity zranenia, čo spôsobí emocionálnu úzkosť zamestnancov a prevádzkové chyby.
Čisté priestory, ako sú polovodiče, ploché panelové displeje a optoelektronika, vykonali veľa práce, ale statické problémy v čistých priestoroch stále ovplyvňujú bezpečnosť výroby a výnos produktu, ovplyvňujú výrobné náklady a výhody a ovplyvňujú kvalitu a spoľahlivosť produktu. Podľa zahraničných priemyselných odborníkov, ročná strata výrobkov v dôsledku statickej elektriny v Spojených štátoch v priemere 8-33%. Niektorí ľudia odhadujú, že ročné škody na elektronickom priemysle v Spojených štátoch majú hodnotu 10 miliárd amerických dolárov. V 80-tych rokoch minulého storočia Japonsko analyzovalo vyradené elektronické výrobky. Strata spôsobená ESD predstavuje 1/3. Čínske polovodiče, displeje z kvapalných kryštálov s plochými panelmi, optoelektronika atď., Všetko začalo neskoro, ale čas od času sa vyskytujú aj elektrostatické riziká a výnosy sú nízke. Banky, spoločnosti s cennými papiermi, dôverné databázy, monitorovacie centrá, energetické dispečingy atď., Ak dôjde k ESD, je ľahké spôsobiť rušenie a údaje sa stratia, situácia je ešte vážnejšia.