Základné myšlienky a technické prístupy k elektrostatickej ochrane
Elektrostatický výboj môže spôsobiť poškodenie zariadenia, ale pri riadnej a primeranej ochrane ESD a riadiacich opatreniach na vytvorenie ESD systému môže byť ESD eliminovaný alebo kontrolovaný, aby sa minimalizovalo poškodenie komponentov. Existujú dve základné myšlienky pre elektrostatickú ochranu a kontrolu citlivých zariadení:
1. (1) Zabrániť hromadeniu statickej elektriny na miestach, kde sa môže vyskytnúť uzemnenie, a prijať určité opatrenia na zabránenie alebo zníženie výskytu elektrostatického výboja, alebo prijať metódu „úniku pri vytváraní strany“, aby sa eliminovala akumulácia elektrického náboja. , Poplatok je kontrolovaný do takej miery, že nespôsobuje škodu.
1. (2) Akumulované náklady rýchlo a spoľahlivo akumulujte.
2.1 Metóda riadenia procesu
Navrhnuté tak, aby produkovali čo najmenej statického náboja počas výrobného procesu. Na tento účel sa prijímajú opatrenia z hľadiska procesného toku, výberu materiálu, inštalácie zariadení a riadenia prevádzky na riadenie tvorby a akumulácie statickej elektriny a na potlačenie elektrostatického potenciálu a schopnosti elektrostatického výboja tak, aby sa neprekročil stupeň \ t poškodenie. Podobne ako v procese výroby polovodičov, aj po dokončení procesu vytvárania plytkého spoja vysokorýchlostného zariadenia sa musí regulovať odpor deionizovanej vody na oplachovanie. Čím vyšší je odpor, tým lepší je čistiaci účinok, ale čím vyšší je odpor, tým vyššia je statická elektrina generovaná na čipe. Preto je všeobecne riadená na úrovni mierne vyššej ako 8 MΩ a nemôže byť 16-17 MΩ pre počiatočný proces. Okrem toho, pri výbere materiálov by mali obalové materiály používať antistatické materiály, snažiť sa vyhnúť neošetreným polymérnym materiálom.
2.2 Metóda úniku
Je navrhnutý tak, aby eliminoval statickú elektrinu prostredníctvom úniku. Zvyčajne je elektrostatické uzemnenie únikom elektrického náboja na zem; existuje tiež spôsob zvýšenia elektrickej vodivosti predmetu, ktorý spôsobí únik zeme pozdĺž povrchu alebo vo vnútri predmetu, ako je pridanie elektrostatického činidla alebo zvýšenie vlhkosti. Najbežnejším je antistatický remienok na zápästie, ktorý nosí personál a statický uzemňovací stĺpik.
2.3 Metóda elektrostatického tienenia
Podľa princípu elektrostatického tienenia môže byť rozdelený do dvoch typov: vnútorné tienenie poľa a vonkajšie tienenie poľa. Špecifickým opatrením je izolovať nabité teleso od iných predmetov s uzemneným krytom obrazovky tak, aby elektrické pole nabitého telesa neovplyvnilo iné okolité objekty (tienenie vo vnútri poľa); niekedy sa tienený kryt používa na obklopenie izolovaného objektu, takže je chránený pred vonkajšími elektrickými poľami (tienenie mimo poľa). Balík prístrojov GaAs používa napríklad kovové puzdro alebo kovovú fóliu.
2.4 Metóda neutralizácie zlúčeniny
Jeho cieľom je eliminácia statického náboja pomocou komplexnej neutralizácie. Využitie eliminátora uzemnenia na vytvorenie komplexu s nabitým iónom na nabitom telese na dosiahnutie neutralizácie. Všeobecne povedané, keď je nabité teleso izolátorom, pretože elektrický náboj nemôže prúdiť na izolátore, metóda uzemnenia nemôže byť použitá na únik elektrického náboja. V tomto prípade sa musí použiť antistatický eliminátor na vytvorenie odlišného iónu na neutralizáciu. Táto metóda sa používa na elimináciu elektrostatického náboja generovaného na dopravnom páse.
2.5 Čisté opatrenia
Navrhnuté tak, aby sa zabránilo prerušovaným výbojom. Na tento účel by mal byť povrch nabitého telesa a okolitých predmetov udržiavaný čo najhladší a najčistejší, aby sa znížila možnosť prerušovaného vybíjania.