Nebezpečenstvo statickej elektriny v čistých priestoroch mikroelektroniky
Zvýšená statická elektrina zníži mieru kvality elektronických produktov, elektromagnetické rušenie preruší činnosť automatických zariadení a elektrostatická adsorpcia zvýši náročnosť zberu povrchových častíc, preto je potrebné kontrolovať aj tvorbu statickej elektriny. Pretože elektrostatické náboje skutočne priťahujú nečistoty na povrchy produktov alebo nástrojov, elektrostatická adsorpcia sa stáva stredobodom pozornosti v čistých priestoroch. Napríklad, keď sa 4-palcový plátok nabije na 1 KV, adsorpčná sila pre častice s priemerom 1 mikrón dosiahne 830,{4}} libier na štvorcový palec. Preto bude elektrostatická adsorpcia medzi nabitými predmetmi a časticami silnejšia ako gravitácia, aerodynamické sily a adhézne sily.
Medzi hlavné prejavy nebezpečenstva statickej elektriny v čistých dielňach v elektronickom priemysle patria:
1. Absorbujte prach. V dôsledku elektrostatickej adsorpcie sa častice vzduchu v čistých priestoroch adsorbujú na povrchy elektronických komponentov a stien, čo ovplyvňuje kvalitu a čistotu produktu. Novým zdrojom prachu v čistých priestoroch sa stala aj statická elektrina.
2. Spôsobiť požiare a výbuchy. V čistých priestoroch v elektronickom priemysle sa používa veľké množstvo horľavých a výbušných plynov, kvapalín a organických rozpúšťadiel. Statická elektrina sa môže stať zdrojom vznietenia týchto plynov (kvapalín) a rozpúšťadiel, čo môže spôsobiť požiare alebo výbuchy.
3. Korónový výboj alebo iskrový výboj vydáva hluk a ruší elektronické zariadenia a elektronické komponenty.
4. Vytvárajte elektrostatické elektrické pole, ktoré spôsobuje skrat, únavu alebo poškodenie elektronických komponentov.
Z tohto dôvodu je neustále zdokonaľovanie techniky v mikroelektronickom priemysle prejavom neustáleho zdokonaľovania antistatickej techniky. Obsah systémov elektrostatickej ochrany je čoraz bohatší. Okrem konvenčných systémov ochrany personálu (antistatické odevy, antistatická obuv, antistatické remienky na zápästie atď.) Okrem hardvérových ochranných systémov, ako sú zariadenia na elimináciu statickej elektriny, je potrebné pridať viac softvérové systémy elektrostatickej ochrany.