Ochrana životného prostredia polovodičového priemyslu
Ako sa zvyšuje povedomie ľudí o životnom prostredí, tak aj úroveň pozornosti venovanej otázkam ochrany životného prostredia. Máme len jednu planétu. Naliehavou témou sa stala ochrana nášho životného prostredia pri rozvoji hospodárstva. Znížiť zaťaženie globálneho životného prostredia, zaistiť bezpečnosť a ochranu zdravia a chrániť životné prostredie. Úspora energie na šetrenie zdrojov, recyklovanie odpadu, znižovanie odpadu a riadenie vypúšťania chemických látok sa stali konsenzom ľudí na ochranu životného prostredia. V spojení s podporou certifikácie ISO14000 a cieľom budovania zelenej továrne 21. storočia sa ľudia aktívne snažili o ochranu životného prostredia. Osobitosť priemyslu výroby polovodičov spôsobila, že rôzne priemyselné odvetvia venujú väčšiu pozornosť otázkam ochrany životného prostredia.
Predchádzanie účinkom globálneho otepľovania
Prevencia vplyvu globálneho otepľovania na Zemi sa stala horúcou témou, ktorá sa v posledných rokoch široko týka. V priemysle výroby polovodičov existujú dva hlavné problémy:
1. Úspora energie
Výrobné zariadenia polovodičového priemyslu, klimatizačné zariadenia, zariadenia na studené / tepelné zdroje a používanie čistej vody, dodávky kvapalín, výfukových plynov, plynov, elektrických zariadení atď. Pracujú nepretržite 24 hodín denne, 365 dní v roku, a spotrebováva veľa energie. Z typu spotreby energie predstavuje elektrická energia a energia približne 85% a zdroje energie ako palivo a para predstavujú 15%. Z použitia spotreby energie, pred-proces výrobné zariadenia je asi 40% -50%, klimatizácia, studené / teplo zdroj zariadenia je asi 30%, a ďalšie pomocné zariadenia je asi 25%.
Úspora energie, znižovanie nákladov a zvyšovanie konkurencieschopnosti výrobkov sú úlohy, ktoré spoločnosti dlhodobo vykonávajú. Na jednej strane, prostredníctvom technologickej transformácie existujúcich zariadení, možno dosiahnuť významné ekonomické prínosy, ale na druhej strane, investície do polovodičových tovární sú teraz obrovské, vývoj technológií je veľmi rýchly. Ako polovodičový priemysel by sa malo budúce smerovanie výskumu v oblasti úspory energie uskutočňovať v týchto aspektoch:
Výrobné zariadenia: zlepšujú účinnosť premeny energie, a tým zlepšujú využívanie energie s cieľom dosiahnuť úspory energie; znížiť spotrebu energie v pohotovostnom stave zariadenia, zodpovedajúcim spôsobom znížiť zaťaženie klimatizáciou s cieľom dosiahnuť úspory energie; Znižuje sa výfuková kapacita zariadenia Zaťaženie na úpravu výfukových plynov sa znižuje s cieľom dosiahnuť úspory energie; inštalačná plocha zariadenia je znížená tak, aby kontrolovala oblasť čistiacej zóny, aby sa dosiahla úspora energie.
Pomocné zariadenia: miniaturizácia zariadení; zníženie oblasti s vysokou čistiacou oblasťou, aby sa znížila spotreba energie z cirkulácie vzduchu na úsporu energie; používanie klimatizačného systému s nízkou tlakovou stratou; použitie nových izolačných materiálov na podporu vyhladenia spotreby energie; Používajte oxid uhličitý, ktorý vzniká počas procesu znižovania spotreby energie.
Vývoj produktov a návrh procesov: vývoj výrobkov s vysokou pridanou hodnotou; nákladovo orientovaný vývoj produktu (redukcia oblasti čipov, štandardizácia procesov, skrátenie cyklu navrhovania); zvyšovanie produkcie (zvyšovanie výkonu, znižovanie počtu inžinierov a skrátenie času testovania).
Vývoj samotného polovodičového priemyslu sa stal vysoko výkonným, ľahkým, tenkým a nízkoenergetickým. Prispel k smeru šetrenia energie pre stroje a zariadenia. Tešíme sa na zavedenie nových zariadení na úsporu energie.
2. Znížte hodnotu PFC
PFC (PREFLUOROCARBON) sa používa hlavne v CVD inžinierstve na výrobu polovodičov, ako čistiaci plyn a ako procesný plyn v technikách suchého leptania. PFC bol zahrnutý do redukcie emisií kvôli jeho schopnosti zničiť ozónovú vrstvu Zeme. Väčšina z nich nie je priamo spracovaná a vypustená priamo do atmosféry a zníženie emisií PFC je dôležitým problémom, ktorému čelí priemysel výroby polovodičov v budúcnosti.
Budúce smery výskumu sa zamerajú na tieto aspekty:
Vývoj recyklovaného systému PFC (zahŕňajúci spôsob, ako efektívne a nákladovo efektívne recyklovať, separovať a rafinovať PFC); vývoj nových technológií spracovania PFC (premena PFC na emisie skleníkových plynov); vývoj alternatívnych plynov (náhrada plynov, ktoré sa v súčasnosti používajú s plynmi s malým koeficientom globálneho otepľovania; vývoj nových procesov (výskum nových procesov leptania).
Plán Japonska na kontrolu emisií PFC v elektronickom priemysle, oznámený v apríli 1998, navrhuje cieľ zníženia na základe roku 1995. Do roku 2010 sa emisie z každého projektu znížia o 70% pre nový riadok. Linka je znížená o 10%. Spojené štáty tiež stanovili cieľ pre mieru využitia PFC v polovodičovom priemysle. Tu sa domáci hráči priemyslu vyzývajú, aby tejto otázke venovali včas.