Statická kontrola čistej miestnosti
1. Základné princípy statickej kontroly
(1) Určte úroveň statickej kontroly
(2) Minimalizujte vytváranie statického náboja
(3) Spôsob odvetrania a neutralizácie urýchľuje odvádzanie statického náboja a zabraňuje hromadeniu statickej elektriny
(4) Chráňte výrobok pred poškodením ESD
2. Určte úroveň statickej kontroly
(1) Klasifikácia elektrostatickej citlivosti komponentov, komponentov a zariadení
Úroveň 1: ľahko sa poškodí elektrostatickým napätím 0-1 999 V.
Úroveň 2: Ľahko sa poškodí elektrostatickým napätím 2000-3999V
Úroveň 3: ľahko sa poškodí elektrostatickým napätím 4 000-5 999 V.
Ak je citlivé statické napätie vyššie ako 16 000 V, nie je potrebné vykonávať antistatické opatrenia.
(2) Klasifikácia pracovného priestoru elektrostatickej ochrany
Trieda A: Elektrostatický potenciál zeme nesmie prekročiť ± 100V
Trieda B: Elektrostatický potenciál k zemi nesmie prekročiť ± 1000V
V skutočnom projekte elektrostatický potenciál nepresahuje 3 úrovne elektrostaticky citlivého napätia zodpovedajúcich komponentov, komponentov a zariadení, ako sú 100 V, 500 V a 1 000 V.
3. Čo najviac minimalizujte vytváranie statického náboja
Toto je prvý krok v trilógii statickej kontroly. V tomto čistom pracovnom prostredí sú najlepšie opatrenia:
(1) Pokúste sa použiť zariadenie s podobnými vlastnosťami na zníženie elektrostatického náboja generovaného počas procesu separácie kontaktným trením;
(2) Pokúste sa použiť staticky vodivé alebo staticky disipatívne materiály na zníženie akumulácie statických nábojov počas procesu kontaktného trenia a oddeľovania;
(3) Pokúste sa použiť výrobný proces, ktorý znižuje elektrostatický náboj generovaný oddelením kontaktného trenia.
4. Uvoľnenie a neutralizácia
Toto je prvý krok v trojstupňovom procese riadenia statickej elektriny. Obvyklými opatreniami v čistej miestnosti výroby mikroelektroniky je uzemnenie pomocou vodivých alebo disipatívnych materiálov na vybíjanie statických nábojov a ionizačné disipátory na neutralizáciu statických nábojov.
(1) Uzemnenie
Čistá miestnosť by mala byť vybavená nezávislým elektrostatickým uzemňovacím systémom (vrátane uzemňovacieho systému kovovej mriežky uzemňovacieho systému, uzemňovacieho systému pracovnej stanice výrobnej linky), aby kovové škrupiny všetkých zariadení v miestnosti, kovové podpery pre mobilné zariadenia, antistatické zariadenia atď., môžu bezpečne a efektívne vybíjať statické náboje. Polož to na zem. Nabitá elektrická energia zamestnancov je uzemnená remienkom na zápästie a je vypúšťaná na zem prostredníctvom antistatickej obuvi alebo päty a potom cez antistatickú zem. Zem, steny, stropy, priečky atď. Sú tvrdo uzemnené, zatiaľ čo škrupiny zariadení, mobilné zariadenia (autá, stoličky, police, atď.), Pracovné stoly atď. Sú uzemnené.
(2) Ionizovaný Xiao Electric
Komponenty a dosky plošných spojov vyrábané a montované v čistých priestoroch, na výrobných linkách a pracovných staniciach sú vždy nevyhnutné, ak existujú určité izolované vodiče a izolačné dielektrické materiály (ako väčšina bežných plastov), ktoré nie je možné uzemniť. V niektorých prostrediach sa na lokálne rozptýlenie statických nábojov na týchto objektoch často používajú ionizačné eliminátory a častejšie prostredníctvom ionizácie vzduchu na neutralizáciu statických nábojov na izolačnom médiu a izolovaných vodičoch.
(3) Statická elektrina a statické disipatívne materiály
Vodivé materiály statickej elektriny a materiály rozptyľujúce statickú elektrinu sú tiež vďaka svojej vodivosti statickej elektriny veľmi dobrými materiálmi na vybíjanie statického náboja a sú bezpečnejšie ako kovové výbojky. Obvykle sa používajú ako podlahy, steny, pracovné stoly a obratové kontajnery. , Pinzeta, kefy a iné antistatické zariadenia.
5. Predchádzajte ESD a chráňte výrobky
Toto je posledný krok v trilógii o ovládaní statickej elektriny. V čistom priestore výroby mikroelektroniky, aby sa zabránilo výskytu elektrostatického výboja na súčiastkach alebo komponentoch citlivých na elektrostatický náboj, je jedným spôsobom poskytnutie vhodného uzemnenia alebo skratov pre súčiastky a komponenty na&"rozptyl &"; statická elektrina, ktorá sa vyskytuje vo výrobku. Poplatok; ďalšou metódou je použiť vhodné baliace metódy a materiály na manipuláciu s balením a prepravou zariadení citlivých na elektrostatický náboj. Tieto materiály môžu účinne chrániť pred prenikaním elektrických nábojov do výrobku a znižovať statický náboj generovaný pohybom produktu v baliacom boxe.
V medzinárodnom meradle sa polovodiče, ploché displeje z tekutých kryštálov a optoelektronika rýchlo rozvíjali s vyššími a vyššími úrovňami integrácie, s tenšími priemermi čipových drôtov a s vyššími a vyššími požiadavkami na antistatiku. Americká asociácia ESD začala revidovať program kontroly elektrostatického výboja ANS ESD S 20.20-1999 a vykonala niekoľko zmien v klasifikácii elektrostatickej citlivosti SSD.
To dáva užívateľom komponentov varovanie, bez ohľadu na to, či personál alebo zariadenie vyrába zariadenie, povie vám, aké požiadavky na kontrolu životného prostredia môžu byť potrebné. Ak prípustné napätie v oblasti EPA dosiahne 25 V, obávam sa, že naše existujúce antistatické zariadenia, zariadenia, nástroje a inžinierstvo budú musieť prejsť tvrdou prácou.